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日立熱場掃描電鏡SU7000 SU7000采用全新設計的探測器，使得對二次電子信號、背散射電子信號的檢測以及分離能力大大提升。SU7000通過新研發的樣品倉以及檢測器系統，可在不改變WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間，提高了測試效率。它還標配超大樣品倉，增設了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。

日立高分辨冷場發射掃描電鏡SU9000 SU9000是世界上二次電子分辨率（0.4nm@30kV）和STEM分辨率（0.34nm@30kV）的掃描電鏡。它采取了*的真空系統和電子光學系統，不僅分辨率性能優異，而且作為冷場發射掃描電鏡甚至不需要傳統意義上的Flashing操作，可以快速穩定的進行超高分辨成像。